لٿوگرافي مشينن ۾ آپٽيڪل جزا

آپٽيڪل ڊيزائن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ ايپليڪيشنن جو هڪ وسيع سلسلو آهي. فوٽوليٿوگرافي مشين ۾، آپٽيڪل سسٽم روشني جي ذريعن مان خارج ٿيندڙ روشني جي شعاع کي مرڪوز ڪرڻ ۽ سرڪٽ جي نموني کي ظاهر ڪرڻ لاءِ سلڪون ويفر تي پروجيڪٽ ڪرڻ جو ذميوار آهي. تنهن ڪري، فوٽوليٿوگرافي سسٽم ۾ آپٽيڪل حصن جي ڊيزائن ۽ اصلاح فوٽوليٿوگرافي مشين جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ جو هڪ اهم طريقو آهي. فوٽوليٿوگرافي مشينن ۾ استعمال ٿيندڙ ڪجهه آپٽيڪل حصن هيٺ ڏنل آهن:

پروجيڪشن جو مقصد
01 پروجيڪشن جو مقصد لٿوگرافي مشين ۾ هڪ اهم آپٽيڪل جزو آهي، جيڪو عام طور تي لينس جي هڪ سيريز تي مشتمل هوندو آهي جنهن ۾ محدب لينس، مقعر لينس، ۽ پرزم شامل آهن.
02 ان جو ڪم ماسڪ تي سرڪٽ پيٽرن کي ڇڪڻ ۽ ان کي فوٽوريزسٽ سان ڍڪيل ويفر تي مرکوز ڪرڻ آهي.
03 پروجيڪشن مقصد جي درستگي ۽ ڪارڪردگي جو لٿوگرافي مشين جي ريزوليوشن ۽ تصويري معيار تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي.

آئينو
01 آئينوروشني جي رخ کي تبديل ڪرڻ ۽ ان کي صحيح جڳهه تي هدايت ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن.
02 EUV لٿوگرافي مشينن ۾، آئينا خاص طور تي اهم آهن ڇاڪاڻ ته EUV روشني آساني سان مواد ذريعي جذب ٿي ويندي آهي، تنهن ڪري اعليٰ عڪاسي ڪندڙ آئينا استعمال ڪرڻ گهرجن.
03 ريفلڪٽر جي مٿاڇري جي درستگي ۽ استحڪام جو پڻ لٿوگرافي مشين جي ڪارڪردگي تي وڏو اثر پوي ٿو.

فلٽر
01 فلٽر روشني جي ناپسنديده طول موج کي ختم ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن، فوٽو ليٿوگرافي جي عمل جي درستگي ۽ معيار کي بهتر بڻائيندا آهن.
02 مناسب فلٽر چونڊڻ سان، اهو يقيني بڻائي سگهجي ٿو ته صرف هڪ مخصوص طول موج جي روشني لٿوگرافي مشين ۾ داخل ٿئي ٿي، ان ڪري لٿوگرافي جي عمل جي درستگي ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو.

پرزم ۽ ٻيا جزا
ان کان علاوه، لٿوگرافي مشين ٻين معاون آپٽيڪل حصن، جهڙوڪ پرزم، پولرائزر، وغيره کي پڻ استعمال ڪري سگھي ٿي، مخصوص لٿوگرافي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ. انهن آپٽيڪل حصن جي چونڊ، ڊيزائن ۽ تيار ڪرڻ کي لاڳاپيل ٽيڪنيڪل معيارن ۽ گهرجن تي سختي سان عمل ڪرڻ گهرجي ته جيئن لٿوگرافي مشين جي اعليٰ درستگي ۽ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي سگهجي.

خلاصو، لٿوگرافي مشينن جي ميدان ۾ آپٽيڪل حصن جي استعمال جو مقصد لٿوگرافي مشينن جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ آهي، انهي ڪري مائڪرو اليڪٽرانڪس پيداوار جي صنعت جي ترقي کي هٿي ملندي. لٿوگرافي ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي سان، آپٽيڪل حصن جي اصلاح ۽ جدت ايندڙ نسل جي چپس جي تياري لاءِ وڌيڪ صلاحيت فراهم ڪندي.

وڌيڪ بصيرت ۽ ماهر صلاح لاءِ، اسان جي ويب سائيٽ تي وڃوhttps://www.jiujonoptics.com/اسان جي شين ۽ حلن بابت وڌيڪ ڄاڻڻ لاءِ.