ليٿوگرافي مشينن ۾ بصري اجزاء

آپٽيڪل ڊيزائن ۾ سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ ايپليڪيشنن جو هڪ وسيع سلسلو آهي. هڪ فوٽوولوگرافي مشين ۾، آپٽيڪل سسٽم روشنيءَ جي ماخذ مان نڪرندڙ نوري شعاع تي توجه ڏيڻ جو ذميوار هوندو آهي ۽ ان کي سرڪٽ جي نموني کي بي نقاب ڪرڻ لاءِ سلڪون ويفر تي پروجيڪٽ ڪندو آهي. تنهن ڪري، photolithography نظام ۾ نظريي حصن جي جوڙجڪ ۽ اصلاح photolithography مشين جي ڪارڪردگي کي بهتر ڪرڻ لاء هڪ اهم طريقو آهي. ھيٺ ڏنل ڪجھ بصري اجزاء آھن جيڪي ڦوٽوولوگرافي مشينن ۾ استعمال ڪيا ويا آھن:

پروجيڪٽ جو مقصد
01 پروجئشن مقصد لٿوگرافي مشين ۾ هڪ اهم آپٽيڪل جزو آهي، عام طور تي لينز جي هڪ سيريز تي مشتمل هوندو آهي جنهن ۾ ڪنوڪس لينس، ڪنڪيو لينس ۽ پرزم شامل آهن.
02 ان جو ڪم ماسڪ تي سرڪٽ جي نموني کي ڇڪڻ ۽ ان کي فوٽوورسٽ سان گڏ ويفر تي ڌيان ڏيڻ آهي.
03 پروجئشن جي مقصد جي درستگي ۽ ڪارڪردگي ليٿوگرافي مشين جي ريزوليوشن ۽ تصويري معيار تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي.

آئينو
01 آئينوروشنيءَ جي رخ کي تبديل ڪرڻ ۽ ان کي درست هنڌ ڏانهن سڌو ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن.
02 EUV ليٿوگرافي مشينن ۾، آئيني خاص طور تي اهم آهن ڇاڪاڻ ته EUV روشني آساني سان مواد ذريعي جذب ٿي ويندي آهي، تنهنڪري اعلي عڪاسي سان آئيني کي استعمال ڪرڻ گهرجي.
03 مٿاڇري جي درستگي ۽ ريفلڪٽر جي استحڪام پڻ ليٿوگرافي مشين جي ڪارڪردگي تي وڏو اثر آهي.

فلٽر
01 فلٽر روشنيءَ جي ناپسنديده طول موج کي ختم ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن، ڦوٽو گرافي جي عمل جي درستگي ۽ معيار کي بهتر بنائڻ لاءِ.
02 مناسب فلٽر کي چونڊڻ سان، اهو يقيني بڻائي سگهجي ٿو ته صرف هڪ مخصوص موج جي روشني ليٿوگرافي مشين ۾ داخل ٿئي ٿي، ان سان ليٿوگرافي جي عمل جي درستگي ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو.

prisms ۽ ٻيا اجزاء
ان کان علاوه، ليٿوگرافي مشين پڻ استعمال ڪري سگھي ٿي ٻين معاون آپٽيڪل اجزاء، جهڙوڪ پرزم، پولرائزر، وغيره، مخصوص ليٿوگرافي گهرجن کي پورو ڪرڻ لاء. انهن بصري حصن جي چونڊ، ڊيزائن ۽ تعمير کي لازمي طور تي لاڳاپيل ٽيڪنيڪل معيار ۽ ضرورتن جي پيروي ڪرڻ گهرجي ته جيئن لٿوگرافي مشين جي اعلي صحت واري ۽ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائي سگهجي.

خلاصو، ليٿوگرافي مشين جي فيلڊ ۾ آپٽيڪل اجزاء جي درخواست جو مقصد لٿوگرافي مشين جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ آهي، انهي سان گڏ مائڪرو اليڪٽرانڪس جي پيداوار جي صنعت جي ترقي جي حمايت ڪندي. ليٿوگرافي ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي سان، بصري اجزاء جي اصلاح ۽ جدت پڻ ايندڙ نسل جي چپس جي تعمير لاء وڌيڪ صلاحيت فراهم ڪندي.

وڌيڪ بصيرت ۽ ماهر مشوري لاء، اسان جي ويب سائيٽ تي وڃوhttps://www.jiujonoptics.com/اسان جي پروڊڪٽس ۽ حل جي باري ۾ وڌيڪ سکڻ لاء.